烟台志德微波能技术有限公司
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微波杀菌设备的微波管工作需要高真空环境：微波管是一种放大微波信号的电真空器件，主要包含电子枪、慢波系统、聚束系统、输能装置和收集极这五个基本功能部件。
电子枪的功能是由阴极产生电子束，然后利用聚焦极、阳极把电子束会聚、加速，形成一定截面形状、尺寸和能量的电子注。
慢波系统是用来减慢电磁波沿管子传播速度的装置，使电子注和高频电磁场的相互作用，把电子束的能量转换为的高频微波能量，使微波管能完成信号放大作用。
聚束系统利用磁场约束电子注的发散，使其顺利穿过慢波系统。输能装置是被放大微波信号的入口和出口。
收集极用来收集穿越慢波系统完成能量交换作用后的电子注电流。
可见，微波管利用电场、磁场来控制电子束在其内部运动，使电子束产生、加速、运动、收集以及和信号相互作用，以至达到信号放大的目的。因此，避免电子对气体分子间的碰撞，呆证电子在微波管内部的运动规律，方止发射热电子的阴极氧化中毒，把微波管抽到一定真空度保证微波管的正常工作，是绝对必要的。微波管的整个寿命期间要求维持高真空或超高真空状态。真空度的好环直接影响到微波管的可靠性能。
微波管中在排管处增加小离子泵（钛泵）和在电子枪处增加吸气剂，同微波管一起排气，排气系统工艺要求高温烘烤，对吸气剂进行激活，排气过程同时对钛泵也进行了排气，在冷封离后管内的残余气体及管内零件重新释放出来的气体，由钛泵和吸气剂共同抽除，维护管内的真空度。在后续的工许过程中，发现有微露气的情况下，钛泵的电流还能帮助检测出微漏点，从而方便了生产，降低了微波管的报废率。在增加吸气剂的微波管中，电子枪高压打火的几率大大减少，长时间储存后，对微波管直接加电而不出现放气或大伙现象。
可见，獬射离子泵、钛泵和吸气剂等吸附真空泵在微波杀菌设备的生产制造中，提高和维持了高真空度，从而提高了微波管的可靠性，增加了使用寿命。
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